1. Na itikotiko ni iyaya kei na dina ni ituvatuva
1.1 Na ivakatakilakila ni silikoni Carbide
(Silikoni Kabaiti)
Kabaiti ni silikoni (SiC) e dua na ka seramiki covalent e caka mai na silikoni kei na atomi ni kaboni ka vakaturi ena dua na ituvatuva ni latticework ni tetrahedral, vakabibi sa tu ena sivia na 250 veimataqali, kei na 6H, 4H, kei na 3C ni dua vei ira na veiganiti cecere duadua ..
Na kena veiwekani veidusimaki kaukauwa e solia na kaukauwa vakasakiti (Mos ~ 9.5), kaukauwa ni katakata cecere (80– 120 W/(m · K )me baleta na karisitala duadua savasava), kei na vakasakiti ni kemikali, cakava me dua vei ira na iyaya kaukauwa duadua me baleta na draki kaukauwa ..
Na ilawalawa levu (2.9– 3.3 eV) vakadeitaka na veivakabulabulataki ni livaliva vakasakiti ena ivakatagedegede ni katakata ni rumu kei na veivala cecere ki na vakacaca ni radiation, ni kena vakalailaitaki na tubu ni katakata (~ 4.0 × 10 −6/ K) veivuke ki na veivakadrukai vakasakiti ni katakata.
Na iyau intrinsic oqo era maroroi talega ena ivakarau ni katakata lako sivia na . 1600 ° C, vakatara na SiC me maroroya na dina ni taravale ena ruku ni vakaraitaki vakadodonu balavu ki na sitila ni thaw ., yalo vinaka, kei na kasi ni veivakacacani.
E sega ni vaka na porsela ni okisidi me vaka na alumina ., SiC e sega ni sauma vakarawarawa na kaboni se mataqali eutectics lailai-vakawaicalataki ena kena vakalailaitaki na ambiences, e dua na ka bibi ena kena qaravi na kaukamea kei na semiconductor.
Ni sa buli me bilo .– waqa e caka me okati kina na iyaya ni katakata .– SiC sivia na iyaya makawa me vaka na quartz ., karafaiti, kei na alumina ena rua na bula vakanuinui kei na ivakarau ni yalodina ..
1.2 Veika lalai kei na veitaqomaki vakamisini
Na cakacaka ni SiC crucibles e vauci vakavinaka ki na nodra ituvatuva lailai ., ka vakararavi ena iwalewale ni buli kei na sintering na veika e vakayagataki ..
Na tavaya ni kalasi ni Refractory e dau caka ena kena vakayagataki na veiwekani ni isau, na vanua e curuma yani kina na silikoni wai, bulia na β-SiC ena kena isau Si .(l) + C(s) → Sic(s).
Na iwalewale oqo e vakavuna e dua na ituvatuva ni SiC taumada kei na silikoni sega ni saumi . (5– 10%), ka vakalevutaka na veivakayarayarataki ni katakata ia e rawa ni vakatabuya na kena vakayagataki ena 1414 ° C(na kena vakawaicalataki na silikoni).
Kena veibasai, vakaotia na SiC crucibles e caka ena kena vakayagataki na boron kei na kaboni se alumina-yttria, rawata na density voleka-vakasama kei na savasava levu cake.
Oqo e vakaraitaka na veivakacacani cecere ni creep kei na veitaqomaki ni oxidation Ia e sau levu cake ka dredre me caka ena levu ..
( Silikoni Kabaiti)
Na kaukauwa vinaka ., veitarataravi ni veitarataravi ni sintered SiC e vakarautaka na veivala vakasakiti ki na oca ni katakata kei na veivakacacani vakamisini, bibi ena gauna e qaravi kina na silikoni wai, Jamani, se III-V na veivakaduavatataki ena iwalewale ni veivakatorocaketaki ni karisitala ..
Na ituvatuva ni iyalayala ni sila, oka kina na lewa ni ikarua ni ivakatagedegede kei na porosity ., vakaitavi ena dua na itavi bibi ena kena tauyavutaki na kaukauwa tudei ena ruku ni katakata ni cyclic kei na vanua ni kemikali kaukauwa.
2. Cakacaka ni katakata kei na veivakacacani ni vanua
2.1 Veisoliyaki ni katakata kei na veisoliyaki ni katakata
E dua vei ira na kena vakamacalataki na vinaka ni SiC crucibles sa ikoya na nodra kaukauwa cecere ni katakata ., ka rawa kina na totolo kei na duavata ni katakata ni veisau ena gauna taucoko ni kena qaravi na katakata cecere.
Me vaka na kena veibasai kei na ivoli lailai-veivakayarayarataki me vaka na silica vakacurumi (1– 2 W/(m · K)), SiC vakavinaka sara na kaukauwa ni katakata ena loma taucoko ni bai ni crucible, vakalailaitaka na vanua katakata kei na katakata.
Na duavata oqo e gadrevi ena iwalewale me vaka na veidusimaki ni veivakadeitaki ni silikoni multicrystalline me baleta na photovoltaics, evei na ivakatagedegede ni katakata homogeneity dodonu e rerevaki kina na ivakarau cecere ni karisitala kei na kena matolu na cala.
Na veiwaki ni conductivity cecere kei na vakalailaitaki ni vakarabailevutaki ni katakata e vakavuna e dua na ivakatagedegede ni katakata cecere vakasakiti (R = k(1 - n)a/ p), cakava na SiC crucibles kaukauwa ki na kena vakacacani ena loma taucoko ni vale totolo ni vakatakatari se na veisau ni vakamamacataki.
Oqo e rawa kina me totolo cake na ivakarau ni vakatakatari ramp na iwiliwili ., vakavinakataki ni cakacaka, kei na vakalailaitaki ni gauna ni vakacagicagi me vaka na kena sega ni cakacaka na crucible.
Vaka kina, na iyaya’s rawa ni tucake me tokaruataki na basikeli ni katakata ka sega na veivakarusai levu e cakava me veiganiti me baleta na vakarautaki ni cakacaka ena heaters vakabisinisi cici e cake . 1500 ° C.
2.2 Oxidation kei na veiganiti ni kemikali
Ena ivakatagedegede ni katakata cecere ena cagi, SiC lako ena rawarawa ni vakasaqa, bulia e dua na itataqomaki ni silica amorfo (SiO RUA) ena kena dela: SiC + 3/2 O 2 → SiO RUA + CO.
Na itutu glazed oqo e vakalevutaka na katakata cecere, cakacaka me vaka e dua na itataqomaki ni veisoliyaki ka vakalailaitaka vakalevu cake na oxidation ka taqomaka na isema ni seramika e rukuna.
Ia, ena vakalailaitaki ni vanua se ituvaki ni vacuum– dau vakayagataki ena vakasavasavataki ni semiconductor kei na sitila– sa tarovi na oxidation, kei na SiC tomana tikoga na kena tudei vakakemikali me veibasai kei na silikoni vakawaicalataki ., aluminium mamada, kei na vica na slag ..
E vorata na vakawabokotaki kei na isau ni silikoni wai me yacova na 100. 1410 ° C, e dina ga ni vakabalavutaki na kena vakaraitaki e rawa ni vakavuna na lailai ni kaboni taura-cake se na veitaratara roughening.
Bibi sara, SiC e sega ni vakaraitaka na veivakacacani kaukamea ki na melts malumu ., e dua na gagadre bibi me baleta na buli silikoni vakalivaliva-kalasi ena vanua e vakadukadukalitaki kina na Fe ., Cu, se Cr e gadrevi me maroroi ena ruku ni ivakatagedegede ni ppb ..
Ia, qarauni e dodonu me tauri ena gauna e vakayagataki kina na kaukamea ni vuravura alkaline se na oxides saumi sara vakalevu, me vaka eso e rawa ni ra vakayagataka tani na SiC ena ivakatagedegede ni katakata kaukauwa.
3. Na iwalewale ni buli iyaya kei na kena lewai na ivakarau
3.1 Na iwalewale ni tara kei na kena lewai na veimama
Na buli ni SiC crucibles e oka kina na kena buli ., mamaca, kei na katakata cecere ni sintering se seepage ., kei na iwalewale digitaki me yavutaki ena savasava e gadrevi, kena ivakatautavata, kei na kerekere.
Na iwalewale ni bulibuli e dau oka kina na kena tabaki na isostatic, vakasavasavataki, kei na veisoliyaki ni slide, yadua e solia na diqiri duidui ni dodonu ni veimama kei na duavata ni microstructural.
Me baleta na bilo lelevu e vakayagataki ena veisoliyaki ni ingot ni matanisiga, isostatic tabaka vakadeitaka na tudei ni bai dela ni matolu kei na matolu, vakalailaitaka na rerevaki ni tubu ni katakata sega ni tautauvata kei na sega ni rawata ..
SiC ni veivakacacani (RBSC) crucibles era saumi ka dau vakayagataki ena foundries kei na makete ni matanisiga, dina ga ni dau vakatabui na silikoni cecere duadua ni iwali ni katakata.
SiC vakalivaliva (SSiC) vakadewa, ni sa rui sau levu, vakayacora na savasava vakasakiti, kaukauwa, kei na veivala kei na veivakacacani ni kemikali, cakava me ra veiganiti me baleta na kerekere cecere-yaga me vaka na GaAs se InP na veivakatorocaketaki ni karisitala ..
Na misini dodonu ni oti na sintering e rawa ni kacivi me rawati kina na veivakacacani kaukauwa, vakabibi me baleta na crucibles vakayagataki ena vakadodonu slope batabata (VGF) se Saki (CZ) ivakarau.
Na vakaoti ni vanua ni dela ni vanua e bibi me vakalailaitaka na vanua ni nucleation me baleta na cala ka vakadeitaka na drodro ni melt malumu ena kena tete.
3.2 Na lewa vinaka kei na vakadeitaki ni cakacaka
Na veivakadeitaki ni ivakarau kaukauwa e bibi me vakadeitaka na nuitaki kei na bula balavu ni SiC crucibles ena ruku ni gadrevi na ituvaki ni cakacaka ..
Na iwalewale ni vakadidike sega ni veivakarusai me vaka na veisele ni ultrasonic kei na X-ray tomography e vakayagataki me raica na veiwasei e loma ., vanua, se veisau ni matolu ..
Na vakadidike ni kemikali ena kena vakayagataki na XRF se ICP-MS e vakadeitaka na lailai ni diqiri ni veivakacacani ni kaukamea ., ni sa vakadeitaki na kaukauwa ni katakata kei na kaukauwa ni flexural me vakadeitaka na tudei ni ka e buli.
Crucibles e dau vakayacori ki na veivakatovolei ni basikeli ni katakata vakatautauvatataki ni bera ni vakau me vakadeitaka na ivakarau ni sega ni rawa ni yaco ..
Na kena vakamuri kei na veivakadonui e dau yaco ena veivakarautaki ni veivakarautaki kei na veivakarautaki ni waqavuka, na vanua e rawa ni kauta mai kina na lusi ni buli iyaya sau levu na kena sega ni rawati na iwasewase.
4. Na ivolakerekere kei na kena revurevu vakatekinoloji
4.1 Semiconductor kei na veikabani ni rarama
Na silikoni carbide crucibles e dua na itavi bibi ena kena buli na silikoni cecere-savasava me baleta na iyaya lalai kei na sela ni matanisiga ..
Ena veidusimaki ni vakaukauwataki ni lovo me baleta na ingots ni rarama ni karisitala, na tavaya SiC lelevu e cakacaka me vaka na koniteina taumada me baleta na silikoni wai, maroroya na ivakatagedegede ni katakata ena 1500 ° C me baleta na vuqa na veisau.
Na nodra sega ni vakayagataka na kemikali e tarova na vakadukadukalitaki, ni nodra taqomaki ni katakata e vakadeitaka na fronts ni veivakadeitaki tudei, ka vakavuna na wafers cecere-vinaka kei na lailai na cala kei na iyalayala ni sorenikau ..
Eso na dau buli iyaya era ubia na vanua ni dela ni loma ni silikoni nitride se silika me ikuri ni vakalailaitaka na veiwekani ka vakarawarawataka na sereki ni ingot ni oti na vakacegu sobu ..
Ena vakadidike-ivakarau ni Czochralski tubu ni veivakaduiduitaki ni veivakaduiduitaki, lailai na levu ni SiC na tavaya e vakayagataki me maroroi kina na thaws ni GaAs ., InSb, se CdTe, ena vanua e bibi kina na veisau lailai kei na veitaqomaki ni veimama.
4.2 Na kaukamea, Vale ni buli iyaya, kei na Tekinolaji e Tubu Mai .
Ena taudaku ni veivakayarayarataki, SiC crucibles e sega ni vakaiyalayala ena kena vakasavasavataki na sitila, vakavakarau ni aloi, kei na ivakarau ni vakawaicalataki ni vale ni vakadidike e oka kina na aluminiumi ., kopa, kei na veika e sega ni dau kune.
Na nodra veivala kei na vakacaca ni katakata kei na vakacaca e vakavuna me ra veiganiti me baleta na induction kei na veivala ni ivakarau ni katakata ena foundries ., ena vanua era bula kina mai na kalavo kei na alumina ena vica na veisau.
Ena buli ni ikuri ni kaukamea saumi, Na koniteina ni SiC e caka me vakayagataki ena vakasavasavataki ni induction ni vakawaicalataki me tarova na vakacacani ni crucible kei na vakadukadukalitaki.
Na veiqaravi e tubu cake mai e tiko kina na activators ni masima vakawaicalataka kei na ivakarau ni kaukauwa ni matanisiga vakanamata, ena vanua e rawa ni oka kina na waqa ni SiC na masima ni katakata cecere se na kaukamea ni wai me baleta na maroroi ni kaukauwa ni katakata ..
Na veivakatorocaketaki tomani tikoga ena sintering vakavoui kei na kena ubi na ituvatuva ., SiC crucibles era sa vakarautaki tu me ra tokona na itabatamata ka tarava ni iyaya ni cakacaka, cakava me rawa kina na savasava, vakalevu cake sara na kena yaga, kei na ivakarau ni katakata vakabisinisi scalable.
Ena vakalekalekataki, silikoni carbide crucibles matataka e dua na tekinolaji bibi vakatarai ena cecere-katakata ni ka e buli synthesis, cokovata na katakata vakasakiti, vakamisini, kei na kemikali ni cakacaka ena dua ga na tiki ni idinia ..
Na nodra vakayagataki raraba ena loma taucoko ni semiconductor, matanisiga, kei na veiqaravi ni kaukamea e vakaraitaka na nodra itavi me vaka e dua na yavu ni porcelains vakabisinisi ni gauna oqo ..
5. Dauveivoli
Na Ceramics ni toso ki liu e tauyavutaki ena Okotova 1999. 17, 2012, e dua na kabani cecere ni tekinolaji e vakaitavi ena vakadidike kei na veivakatorocaketaki ., ivoli, cakacakataki, volivolitaki kei na veiqaravi vakatekinoloji ni ceramic veiwekani kei na iyaya. Na noda ivoli e oka kina ia e sega ni yalani ki na Boron Carbide ivoli ceramic ., Na ivoli ni seramika ni boroni, Silikoni Carbide iyaya ni seramika, Silikoni nitraidi iyaya ni seramika, Zirkoniumi daiokisaiti iyaya ni seramika, kei na so tale. Kevaka o ni taleitaka ., Kerekere mo ni veitaratara kei keda.
Tagi: Silikoni Kabaiti, Silikoni Kabaiti seramika, Silikoni Carbide Kiloki ni Seramika
Na itukutuku kece kei na iyaloyalo e tiko ena Initaneti .. Kevaka e tiko eso na leqa ni dodonu ni taukeni ., yalovinaka veitaratara kei keda ena gauna me bokoci ..
Vakatarogi keitou